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Fast Specimen Boundary Tracking and Local Imaging with Scanning Probe MicroscopySeguimiento rápido de los límites de la muestra e imágenes locales con microscopía de sonda de barrido

Resumen

Se ha desarrollado un método eficiente y adaptable de seguimiento de límites para confinar el área de interés para un escaneo local de alta eficiencia. Utilizando un criterio de determinación de puntos de límite, la punta de escaneo se dirige con una forma de onda sinusoidal mientras se estiman el ángulo de azimut y la relación de radio de cada punto de límite para rastrear con precisión el límite de los objetivos. Posteriormente, se planifica una región y ruta de escaneo local basada en el conocimiento previo del seguimiento de límites para reducir el tiempo de escaneo. Los métodos de seguimiento de límites y escaneo local tienen un gran potencial no solo para la medición rápida de dimensiones, sino también para la topografía de la superficie de muestra y la caracterización física, con solo la región de interés escaneada. El rendimiento de los métodos propuestos fue verificado utilizando la microscopía de conductancia iónica por escaneo en modo de corriente alterna, tapping y microscopía de fuerza at

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