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Este artículo presenta una técnica de microscopía de fuerza atómica (AFM) para caracterización verdaderamente tridimensional (3D). La sonda del microscopio, con punta ensanchada, se utilizó en un sistema 3D-AFM casero. La sonda era accionada por dos piezocerámicas vibratorias y oscilaba alrededor de su frecuencia de resonancia vertical o torsional. El modo de resonancia vertical se utilizaba para la imagen de la superficie superior, y el modo de resonancia torsional se utilizaba para detectar las paredes laterales. El 3D-AFM se aplicó para medir rejillas estándar con una altura de 100 nm y 200 nm. Los resultados del experimento mostraron que la técnica 3D-AFM presentada era capaz de detectar las pequeñas características defectuosas en la empinada pared lateral y de reconstruir la topografía 3D de la estructura medida.
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