Resumen

Este artículo presenta una técnica de microscopía de fuerza atómica (AFM) para caracterización verdaderamente tridimensional (3D). La sonda del microscopio, con punta ensanchada, se utilizó en un sistema 3D-AFM casero. La sonda era accionada por dos piezocerámicas vibratorias y oscilaba alrededor de su frecuencia de resonancia vertical o torsional. El modo de resonancia vertical se utilizaba para la imagen de la superficie superior, y el modo de resonancia torsional se utilizaba para detectar las paredes laterales. El 3D-AFM se aplicó para medir rejillas estándar con una altura de 100 nm y 200 nm. Los resultados del experimento mostraron que la técnica 3D-AFM presentada era capaz de detectar las pequeñas características defectuosas en la empinada pared lateral y de reconstruir la topografía 3D de la estructura medida.

• Materias:Conductos radiculares Microestructuras Baterías de iones Ensamblaje biomimético Microscopía
• Subjects:Root canals Microstructures Ion batteries Biomimetic assembly Microscopy
• Palabras claves:Microscopía de fuerza atómica; Caracterización 3d; Sonda cantilever; Sistema 3d-afm; Piezocerámica; Frecuencia de resonancia
• Keywords:Atomic force microscopy; 3d characterization; Cantilever probe; 3d-afm system; Piezoceramics; Resonance frequency