Resumen

En este artículo se presenta el recubrimiento de microsondas en voladizo de 5 mm de longitud con un material viscoelástico, con el que se pretende ampliar el rango de la velocidad de desplazamiento durante las mediciones de la topografía tridimensional de la superficie amortiguando las oscilaciones inducidas por el contacto. Además, se investigó la amplitud y la fase del modo de oscilación fundamental fuera del plano del voladizo en función del grosor de la capa amortiguadora. Los autores concluyen que la frecuencia de resonancia y el factor de calidad disminuyeron al aumentar el grosor de la capa amortiguadora, tanto para el modo de oscilación libre como para el modo de barrido en contacto.

• Materias:Metrología Criterios de oscilación Control de calidad Topografía
• Subjects:Metrology Oscillation criteria Quality control Topography
• Palabras claves:Voladizo piezoresistivo; Escaneado táctil de superficies; Metrología de alto rendimiento; Modo de contacto; Frecuencia de resonancia; Factor de calidad
• Keywords:Piezoresistive cantilever; Tactile surface scanning; High-throughput metrology; Contact mode; Resonance frequency; Quality factor