Resumen

Principalmente analizamos las características dinámicas de un microvigote de geometría variable optimizado para la forma y actuado electrostáticamente. Se desarrolla un modelo dinámico no lineal que considera el estiramiento del plano medio, la fuerza electrostática y los efectos de borde del campo eléctrico. En primer lugar, estudiamos las respuestas estáticas de los microvigotes optimizados bajo voltaje de polarización de CD. Se utiliza el método de cuadratura diferencial generalizada (GDQM). En segundo lugar, se investigan las respuestas dinámicas de los microvigotes optimizados para la forma, impulsados por voltajes de CD y CA, utilizando GDQM en conjunto con el método de optimización de Levenberg-Marquardt. Los resultados muestran que cuanto más gradual sea el cambio en el ancho, mayor será la frecuencia de resonancia y la amplitud máxima en resonancia. Luego discutimos detalladamente cómo afectan la respuesta en frecuencia de los microvigotes la anchura máxima, la anchura de la sección media y la curvatura de la función de ancho.

• Materias:Control de vibraciones Seguridad industrial Vibración de rodamientos Dinámica no lineal Vibración dinámica
• Subjects:Vibration control Industrial safety Bearing vibration Nonlinear dynamics Dynamic vibration
• Palabras claves:Características dinámicas; Actuado electrostáticamente; Optimizado en forma; Microviga; Frecuencia de resonancia; Actuadores MEMS
• Keywords:Dynamic characteristics; Electrostatically actuated; Shape optimized; Microbeam; Resonant frequency; MEMS actuators