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Artículo

Energy Dissipation Contribution Modeling of Vibratory Behavior for Silicon Micromachined GyroscopeModelado de la contribución de disipación de energía del comportamiento vibratorio para giroscopio micromecanizado de silicio.

Resumen

La contribución de disipación de energía del giroscopio vibratorio Coriolis micro-mecanizado (MCVG) se modela, simula numéricamente y verifica experimentalmente en este artículo. En primer lugar, se obtiene la cantidad de disipación de amortiguamiento independiente que consiste en pérdida termoelástica, pérdida de anclaje, pérdida de superficie, pérdida de Akhiezer y pérdida de amortiguamiento de aire durante la vibración mediante un modelo de simulación, un método basado en PML y un cálculo numérico, respectivamente. Luego, se obtiene la característica de dependencia de la temperatura y la presión del factor de calidad (Q) correspondiente al MCVG. Al mismo tiempo, se determinan las fuentes dominantes de disipación de amortiguamiento, lo que allana el camino para mejorar Q. Finalmente, se miden las características dependientes de la temperatura y la presión del Q total con errores de menos del 10% y 18% en comparación con el Q total simulado, respectivamente, en donde la precisión

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