Resumen

Se presentan el modelado y el análisis del comportamiento estático y las inestabilidades de colapso de un interruptor en voladizo MEMS sometido a cargas eléctricas y térmicas. Las fuerzas de carga térmica pueden ser el resultado de una gran cantidad de contacto de conmutación del microinterruptor. El modelo considera el microhaz como un medio continuo y la fuerza eléctrica como una función no lineal del desplazamiento y tiene en cuenta su efecto de campo de fringing. Se supone que la fuerza eléctrica se distribuye a lo largo de determinadas longitudes por debajo del microhaz. Se utiliza un solucionador de valores límite para estudiar la inestabilidad de colapso, que hace que el microhaz pase de su configuración no fija a tocar el sustrato y se quede atascado en la denominada configuración fija. Hemos encontrado una influencia insignificante de la temperatura en la estabilidad estática del interruptor. A continuación, investigamos el efecto del calentamiento térmico debido al flujo de corriente en el interruptor en voladizo mientras se encuentra en la posición de encendido (posición adherida). También encontramos un ligero efecto sobre la estabilidad estática del interruptor.

• Materias:Análisis Matemático Álgebra Ingeniería Matemática aplicada Lógica matemática
• Subjects:Mathematical Analysis Algebra Engineering Applied Mathematics Mathematical logic
• Palabras claves:microhaz, fuerza eléctrica, estabilidad estática, interruptor en voladizo mems, fuerzas de carga térmica, posición, interruptor, interruptor en voladizo, inestabilidades de colapso, inestabilidad de colapso
• Keywords:microbeam, electric force, static stability, mems cantilever switch, thermal loading forces, position, switch, cantilever switch, collapse instabilities, collapse instability