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Global Modeling of N2O Discharges: Rate Coefficients and Comparison with ICP and Glow Discharges ResultsModelización global de las descargas de N2O: Coeficientes de velocidad y comparación con los resultados de las descargas ICP y Glow

Resumen

Desarrollamos un Modelo Global para plasmas de N2O válido para aplicaciones en varios regímenes de potencia, caudal de gas y presión. Además de las pérdidas de energía debidas a las colisiones de los electrones con el N2O, tiene en cuenta las debidas a las especies moleculares de N2 y O2 y a las atómicas de N y O. Se han tratado como especies separadas el N y O atómicos positivos y el N2O , N2 y O2 moleculares, así como los iones O- negativos. Estos últimos confieren un carácter electronegativo a la descarga, lo que requiere fórmulas modificadas de la envoltura del plasma y del potencial del plasma. Se han evaluado la densidad de electrones y la temperatura, así como todas las densidades de las especies, y por tanto los porcentajes de ionización y disociación de las moléculas de N2O, N2 y O2 y la electronegatividad del plasma. El modelo se amplía para tratar la alimentación de mezclas de N2/O2, especialmente con aire. Se discuten los coeficientes de velocidad y los resultados del modelo y se comparan con los de los trabajos teóricos y experimentales disponibles sobre dispositivos ICP y de descarga luminosa.

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