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A Novel Manufacturing Technology for RF MEMS Devices on Ceramic SubstratesNueva tecnología de fabricación de dispositivos MEMS de RF sobre sustratos cerámicos

Resumen

Los sistemas microelectromecánicos se utilizan a menudo por su enorme capacidad y buenas cualidades en módulos T/R, especialmente para aplicaciones modulares espaciales. Su principio de funcionamiento intrínseco garantiza un alto aislamiento y una pérdida de inserción muy baja. Se trata de una tecnología muy robusta, flexible y de bajo coste, y proporciona una gran fiabilidad, buena reproducibilidad y un cumplimiento completo de los requisitos técnicos.

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