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Time-Resolved Observation of Deposition Process of Ultrananocrystalline Diamond/Hydrogenated Amorphous Carbon Composite Films in Pulsed Laser DepositionObservación resuelta en el tiempo del proceso de deposición de películas compuestas de diamante ultranocristalino/carbono amorfo hidrogenado en deposición por láser pulsado

Resumen

Se utilizó la espectroscopia de emisión óptica para estudiar la ablación por láser pulsado de grafito en una atmósfera de hidrógeno en la que crecían películas compuestas de diamante ultrananocristalino (UNCD)/carbono amorfo hidrogenado (a-C:H) sobre sustratos calentados. Se tomaron fotografías con resolución temporal de un penacho que se expandía desde un punto de irradiación láser hacia un sustrato utilizando una cámara ICCD de alta velocidad equipada con filtros de paso de banda estrecho. Mientras que las emisiones de átomos de C y dímeros de C2 se mantuvieron por encima del punto de irradiación láser en el blanco, la emisión de iones de C se mantuvo por encima de la superficie del sustrato durante aproximadamente 7 microsegundos, aunque el tiempo de emisión de las especies suele ser de unos 10 nanosegundos. Esto implica que los iones C colisionaron activamente entre sí por encima de la superficie del sustrato durante tanto tiempo. Creemos que las claves del crecimiento de UNCD en PLD son el suministro de especies de carbono altamente energéticas a una alta densidad al sustrato y la existencia de hidrógeno atómico durante el crecimiento.

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