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Artículo

Experimental Optimization of Annular Polishing Parameters for Silicon CarbideOptimización experimental de los parámetros de pulido anular para el carburo de silicio

Resumen

La calidad de la superficie mecanizada tiene un fuerte impacto en la funcionalidad de los componentes y dispositivos basados en carburo de silicio. En el presente trabajo, primero investigamos analíticamente el complejo acoplamiento de movimientos en el pulido anular basándonos en la ecuación de Preston, que deriva los parámetros influyentes para la eliminación de material. Posteriormente, llevamos a cabo experimentos sistemáticos de pulido anular de carburo de silicio ligado por reacción para investigar la influencia de los parámetros derivados en la calidad de la superficie pulida, lo que produce parámetros de pulido optimizados para lograr una rugosidad superficial ultrabaja del carburo de silicio ligado por reacción.

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