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Polymer process optimization for electrical and optical I/O interconnect pillar fabricationOptimización del proceso de fabricación de polímeros eléctricos y ópticos de interconexión I/O

Resumen

El polinorborneno ha sido, durante mucho tiempo, considerado conveniente para la fabricación de materiales eléctricos y de interconexiones ópticas debido a su baja constante dieléctrica, los altos índices de refracción, la baja elasticidad modular y su alta estabilidad al calor. En las últimas investigaciones, han sido fabricados polímeros pilares junto con conductores metálicos, generando una transferencia de señales eléctricas y ópticas. Estas señales requieren estructuras complejas construidas con determinadas características. Las interconexiones ópticas, los flancos de los pilares deben ser suaves para reducir la dispersión óptica que puede generar posteriores pérdidas de señal. Para aplicaciones eléctricas, las cavidades interiores deben ser desarrolladas a la superficie subyacente para garantizar contactos eléctricos fiables. La elección de una fórmula adecuada de polímero es fundamental para obtener estos resultados. Cada fórmula produce resultados diferentes en la fabricación; es por ello que se deben hacer pruebas de manera preliminar para determinar el material óptimo para cada aplicación. En este documento, se probaron tres fórmulas diferentes de polinorborneno en diferentes exposiciones y dosis, posterior a la exposición de las muestras a diversas temperaturas. La fórmula más general que se desarrolló en lo que respecta a la estabilidad estructural, suavidad, profundidad de desarrollo interior y superficie plana fue probada en la fabricación de nuevas aplicaciones. A través de estos procesos de fabricación, se demostró que la fórmula elegida se puede utilizar para crear polímeros de 130 micras de altura para usos ópticos y núcleos de polímeros sólidos pilares para la electricidad interconexión entre un chip y un tablero, etc.

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  • Idioma:Inglés
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Información del documento

  • Titulo:Polymer process optimization for electrical and optical I/O interconnect pillar fabrication
  • Autor:Doyle, laura; Hopkins, Johns
  • Tipo:Artículo
  • Año:2005
  • Idioma:Inglés
  • Editor:National Nanotechnology Infrastructure Network (NNIN)
  • Materias:Polímeros Investigación operacional Procesos industriales
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