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Optimization of Electrostatic Force System Based on Newton Interpolation MethodOptimización del sistema de fuerza electrostática basado en el método de interpolación de Newton

Resumen

Las mediciones de micro/nanofuerzas son de gran importancia tanto en ciencia como en ingeniería. Hemos desarrollado un sistema trazable para micro/nanofuerzas basado en la fuerza electrostática utilizando dos electrodos. Los ruidos (fluencia, vibración del suelo y flujo de aire) son una de las limitaciones para la resolución de fuerzas. Las fuerzas están distorsionadas por el ruido y no pueden medirse con precisión. Aunque el método ABA puede utilizarse para eliminar la fluencia lineal, no es válido para el ruido no lineal. En este trabajo, se ha adoptado un nuevo método conocido como método de interpolación de Newton (NIM) en el gradiente de capacitancia y la calibración de la rigidez del voladizo para reducir el efecto del ruido no lineal. Los resultados muestran que el gradiente de capacitancia, con una desviación estándar relativa del 0,004%, es estable y presenta una buena repetibilidad. La rigidez del voladizo se midió utilizando fuerza electrostática. El valor típico de la rigidez osciló entre 5,1 y 48 N/m. La desviación típica relativa fue pequeña, es decir, inferior al 0,6%, debido al método de interpolación de Newton. Estos resultados demuestran que nuestro sistema es muy estable y repetible. Esta investigación puede ayudar en el diseño de sistemas de medición de fuerza basados en la fuerza electrostática.

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