Debido a la falta de un mecanismo de guiado miniaturizado, los dispositivos de micro/nanoindentación son difíciles de integrar en el microscopio electrónico de barrido. Por ello, en este artículo se propone un mecanismo de guiado conforme (CGM) de tamaño compacto que sirve como plataforma de posicionamiento preciso. El desplazamiento y la primera frecuencia natural son las respuestas de calidad más importantes del CGM. Los parámetros geométricos del CGM y la fuerza aplicada juegan un papel vital en la determinación de estas respuestas. El plan experimental se diseña en primer lugar mediante la matriz ortogonal L 27 de Taguchi. A continuación, se desarrolla un enfoque híbrido de Taguchi-lógica difusa basada en grises para optimizar dos respuestas simultáneamente. El análisis relacional gris basado en la lógica difusa se utiliza para obtener un grado de razonamiento gris-fuzzy (GFRG) que combina todas las características de calidad. El GFRG, que sirve de índice de rendimiento, determina los niveles óptimos de los parámetros. Se realiza un análisis de varianza para evaluar los parámetros significativos que afectan a las respuestas. Los resultados de confirmación revelaron que el desplazamiento de 195 μm del CGM era muchas veces superior al de los mecanismos anteriores. Se podría concluir que las respuestas de calidad del CGM se pueden mejorar significativamente a través del enfoque de optimización híbrida. La metodología propuesta tiene grandes aplicaciones para mecanismos conformes relacionados y ciencias de la ingeniería. Teniendo en cuenta las ventajas de una estructura compacta, el CGM tiene una gran capacidad para el dispositivo de micro/nanoindentación dentro del microscopio electrónico de barrido.
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