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Magnetron Sputtered NbN Films with Nb Interlayer on Mild SteelPelículas de NbN pulverizadas por magnetrón con capa intermedia de Nb sobre acero dulce

Resumen

El objetivo del estudio es ampliar el recubrimiento de NbN sobre MS con una capa intermedia de Nb para explorar las ventajas de los recubrimientos de nitruro duro sobre material estructural de bajo coste y comparar el recubrimiento con el recubrimiento monolítico de NbN sobre SS. El NbN sobre MS y SS se depositó mediante pulverización catódica reactiva por magnetrón con distintas relaciones de flujo N2/Ar y polarización del sustrato. La velocidad de deposición disminuyó de 20 a 10 nm/min (sin polarización) y de 16 a 8 nm/min (polarización de -50 V) cuando la relación FN2/FAr varió de cero a 70%. La velocidad de deposición disminuyó con el aumento de la tensión de polarización. Los recubrimientos mostraron hexagonal β Nb2N, cúbico δ NbN y hexagonal δ′ NbN como fases principales con el aumento del flujo de N2. La dureza superficial alcanzó un máximo de 2040 HK25 a un FN2/FAr del 20%. Las cargas críticas, para el fallo cohesivo y adhesivo del recubrimiento sobre MS, se situaron entre 6-8 N y 9-12 N respectivamente; para el recubrimiento sobre SS, los valores se situaron entre 7-15 N y 12-25 N respectivamente. Se estudió la dureza de los revestimientos dúplex mediante microindentación Knoop, la adherencia mediante rayado y la corrosión mediante la técnica de polarización potenciodinámica. La dureza, la adherencia y la resistencia a la corrosión mejoraron cuando el recubrimiento de NbN se incorporó con una capa intermedia de Nb sobre MS.

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