Resumen

Se obtuvieron películas nanoestructuradas de carbono tipo diamante (DLC) en lugar de la película ultrasuave mediante ablación por láser pulsado de grafito pirolítico. La deposición se realizó a temperatura ambiente en vacío con los sustratos colocados en posición fuera del eje. La configuración utilizó una pluma de plasma de alta densidad que llegaba a un ángulo efectivo bajo para la formación de DLC nanoestructurado. Se depositaron nanoestructuras con un tamaño máximo de 50 nm en comparación con las películas de DLC ultrasuaves obtenidas en una deposición convencional. Los espectros Raman de las películas confirmaron que éstas eran de naturaleza diamantada/amorfa. Aunque crecieron en ángulo, se obtuvo una energía iónica de >35 eV en la posición fuera del eje. Se propuso que esto era responsable del crecimiento por subimplantación del carbono hibridado sp3. La condensación de grupos energéticos y la deposición en ángulo oblicuo dieron lugar a la formación de DLC nanoestructurado en este estudio.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:películas, posición del eje, dlc nanoestructurado, penacho de plasma de alta densidad, ángulo efectivo bajo, deposición en ángulo oblicuo, películas de dlc ultrasuaves, formación, diamante nanoestructurado, espectros raman
• Keywords:films, axis position, nanostructured dlc, high density plasma plume, low effective angle, oblique angle deposition, ultrasmooth dlc films, formation, nanostructured diamond, raman spectra