Resumen

Se cultivaron películas delgadas de InOx con un espesor del orden de 100 nm mediante pulverización catódica por magnetrón de corriente continua sobre sustratos de vidrio, Si y flexibles (PET). La conductividad eléctrica de las películas delgadas de InOx mostró un cambio de dos órdenes de magnitud durante la fotorreducción con luz ultravioleta y la posterior oxidación en concentraciones de ozono de 2370 a 15 ppb, a temperatura ambiente. Se mantuvo una transparencia óptica superior al 85% en todos los sustratos. Se analizaron las propiedades estructurales y de detección de ozono de las películas. Las investigaciones sobre la morfología de la superficie realizadas mediante SEM para las películas sobre sustratos de PET mostraron un agrietamiento extendido de la superficie para ángulos de flexión superiores a 40∘. La optimización de las condiciones de crecimiento ha dado lugar a películas con niveles de detección de ozono extremadamente bajos, de hasta 15 ppb a temperatura ambiente, lo que demuestra las amplias posibilidades de utilización de estos óxidos metálicos como sensores de gas en sustratos flexibles para diversas aplicaciones de automoción y aire acondicionado.

• Materias:Redes de sensores Nanosensores Sensores electroquímicos Sensores de fibra óptica
• Subjects:Sensor networks Nanosensors Electrochemical sensors Fiber optic sensors
• Palabras claves:temperatura ambiente, películas delgadas, investigaciones de morfología superficial, bajos niveles de detección, inox, películas, ozono, ppb, sustratos, estructura de las películas
• Keywords:room temperature, thin films, surface morphology investigations, low detection levels, inox, films, ozone, ppb, substrates, film structural