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Predictions of the Compressible Fluid Model and its Comparison to Experimental Measurements of Q Factors and Flexural Resonance Frequencies for MicrocantileversPredicciones del modelo de fluido compresible y su comparación con mediciones experimentales de factores Q y frecuencias de resonancia de flexión para microcantilevers

Resumen

Se presenta la concordancia cualitativa entre las mediciones experimentales de los factores Q y las frecuencias de resonancia de flexión en aire de microcantilevers y los cálculos basados en el modelo de fluido compresible de Van Eysden y Sader (2009). Los factores Q y las frecuencias de resonancia observados en dos conjuntos de matrices de voladizos fueron ligeramente inferiores a los predichos por el modelo. Esto se atribuye al diseño individual y a la geometría del extremo articulado microfabricado de las vigas en voladizo del conjunto.

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