Resumen

Se prepararon películas de carbono tipo diamante con contenido metálico (Me-DLC) mediante una combinación de implantación de iones en fuente de plasma (PSII) y sputtering reactivo por magnetrón. Se utilizaron dos metales que difieren en su tendencia a formar carburo y que poseen un rendimiento de sputter diferente, es decir, Cu con un rendimiento de sputter relativamente alto y Ti con uno comparativamente bajo. La preparación de la película de DLC se basó en el gas hidrocarburo etileno (C2H4). Se describe la técnica de preparación y se discuten los parámetros que influyen en el contenido metálico de la película. Las propiedades de la película que se modifican por la adición de metal, como la estructura, la resistividad eléctrica y el coeficiente de fricción, se evaluaron y compararon con las de las películas de DLC puras, así como con los valores de la literatura para las películas de Me-DLC preparadas con un gas hidrocarburo diferente o que contienen otros metales.

• Materias:Cinética Industria del cemento Metales Cemento Ingeniería de estructuras Perforación de pozos de minas
• Subjects:Kinetics Cement industries Metals Cement Structural engineering Shaft sinking
• Palabras claves:gas hidrocarburo etileno, implantación de iones en la fuente, alto rendimiento de sputter, gas hidrocarburo diferente, combinación de plasma, película dlc pura, preparación de película dlc, sputtering reactivo de magnetrón, metal, rendimiento de sputter diferente
• Keywords:hydrocarbon gas ethylene, source ion implantation, high sputter yield, different hydrocarbon gas, combination of plasma, pure dlc film, dlc film preparation, reactive magnetron sputtering, metal, different sputter yield