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Preparation and Properties of Ag-Containing Diamond-Like Carbon Films by Magnetron Plasma Source Ion ImplantationPreparación y propiedades de películas de carbono tipo diamante con contenido de Ag mediante la implantación de iones en la fuente de plasma del magnetrón

Resumen

Se investigó el efecto del dopaje de plata en la estructura y las propiedades de las películas de carbono tipo diamante (DLC). Las muestras se prepararon mediante un proceso que combinaba la implantación de iones en la fuente de plasma de acetileno (pulsos de alto voltaje de -10 kV) con el sputtering reactivo por magnetrón de un disco de Ag. Se introdujo una mezcla de dos gases, argón y acetileno, en la cámara de descarga como gas de trabajo para la formación del plasma. Se aplicó un pulso negativo de alto voltaje al soporte del sustrato, acelerando así los iones hacia el mismo. La composición química de las películas depositadas fue modificada por los respectivos flujos de gas y determinada mediante espectroscopia de fotoelectrones de rayos X y espectrometría de masas de iones secundarios. La concentración de plata en las películas de DLC influyó en la estructura y las propiedades tribológicas. La rugosidad de la superficie, observada mediante microscopía electrónica de barrido, aumentó con la concentración de plata. La estructura de la película se caracterizó mediante espectroscopia Raman y difractometría de rayos X (XRD). Las películas de DLC eran principalmente amorfas y contenían plata cristalina, con una cantidad de plata que dependía de las condiciones del proceso. Las propiedades tribológicas de las películas mejoraron con el dopaje de plata. El coeficiente de fricción más bajo, de alrededor de 0,06, se obtuvo con un bajo contenido de plata.

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