Resumen

Hemos estado desarrollando un nuevo sistema de tratamiento de gases de escape de tipo seco para reciclar el flúor de los compuestos perfluorados presentes en los gases de escape de la industria de semiconductores. La característica de este sistema es adsorber los compuestos de flúor en los gases de escape del horno de descomposición utilizando dos tipos de adsorbentes sólidos: el carbonato de calcio en la capa superior adsorbe HF y lo convierte en CaF2, y el bicarbonato de sodio en la capa inferior adsorbe HF y SiF4 y los convierte en Na2SiF6. En este trabajo se describen las propiedades de adsorción de compuestos de flúor de ambos adsorbentes sólidos -el carbonato cálcico y el compuesto sódico- para el diseño óptimo del horno de fijación. Se realizó un análisis de la velocidad de reacción gas-sólido a partir de los resultados experimentales de la curva de penetración utilizando un modelo de reacción de lecho fijo, y se obtuvieron las constantes de velocidad de reacción y la capacidad de adsorción para lograr un diseño óptimo del proceso.

• Materias:Hidrodinámica Tecnología Termodinámica Tratamiento de gases Tecnología de los combustibles
• Subjects:Hydrodynamics Technology Thermodynamics Gases treatment Fuel technology
• Palabras claves:carbonato cálcico, adsorbentes sólidos, propiedades de adsorción de compuestos de flúor, modelo de reacción en lecho, sistema de tratamiento de gases, diseño óptimo del proceso, constantes de velocidad de reacción, velocidad de reacción en sólidos, HF, capacidad de adsorción
• Keywords:calcium carbonate, solid adsorbents, fluorine compound adsorption properties, bed reaction model, gas treatment system, optimal process design, reaction rate constants, solid reaction rate, HF, adsorption capacity