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Process-Parameter-Dependent Structural, Electrical, and Optical Properties of Reactive Magnetron Sputtered Ag-Cu-O FilmsPropiedades estructurales, eléctricas y ópticas dependientes de los parámetros del proceso en películas de Ag-Cu-O pulverizadas por magnetrón reactivo

Resumen

Se formaron películas delgadas de plata-cobre-óxido mediante la técnica de pulverización catódica por magnetrón de RF utilizando un blanco Ag80Cu20 a distintas presiones parciales de oxígeno en el intervalo de 5 × 10-3-8 ×10-2 Pa y temperaturas del sustrato en el intervalo de 303-523 K. Se estudió el efecto de la presión parcial de oxígeno y la temperatura del sustrato sobre la estructura y la morfología superficial y las propiedades eléctricas y ópticas de las películas. Las películas de Ag-Cu-O formadas a temperatura ambiente (303 K) y a una baja presión parcial de oxígeno de 5 × 10-3 Pa eran de fase mixta de Ag2Cu2O3 y Ag, mientras que las depositadas a 2 × 10-2 Pa estaban compuestas por las fases Ag2Cu2O4 y Ag2Cu2O3. La cristalinidad de las películas formadas a una presión parcial de oxígeno de 2 × 10-2 Pa aumentó con el incremento de la temperatura del sustrato de 303 a 423 K. Con el incremento de la temperatura del sustrato hasta 523 K, las películas se descompusieron en las fases Ag2O y Ag. La resistividad eléctrica de las películas disminuyó de 0,8 Ωcm con el aumento de la temperatura del sustrato de 303 a 473 K debido a la mejora de la cristalinidad de la fase. La brecha de banda óptica de las películas de Ag-Cu-O aumentó de 1,47 a 1,83 eV con el aumento de la temperatura del sustrato de 303 a 473 K.

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Información del documento

  • Titulo:Process-Parameter-Dependent Structural, Electrical, and Optical Properties of Reactive Magnetron Sputtered Ag-Cu-O Films
  • Autor:P. Narayana, Reddy; A., Sreedhar; M. Hari, Prasad Reddy; S., Uthanna; J. F., Pierson
  • Tipo:Artículo
  • Año:2011
  • Idioma:Inglés
  • Editor:Hindawi Publishing Corporation
  • Materias:Biotecnología Nanotecnología Fotocatálisis Nanopartículas
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