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Structural, Morphological, and LPG Sensing Properties of Al-Doped ZnO Thin Film Prepared by SILARPropiedades estructurales, morfológicas y de detección de GLP de una película delgada de ZnO dopada con Al preparada mediante SILAR

Resumen

Se depositaron películas delgadas de óxido de zinc (AZO) sin dopar y dopadas con aluminio sobre sustratos de vidrio mediante la técnica de adsorción y reacción sucesiva de capas de iones (SILAR) a partir de un complejo de zincato de amonio. Las películas delgadas se caracterizaron mediante difracción de rayos X (XRD) y microscopía electrónica de barrido (SEM) para sus estudios estructurales y morfológicos. Tanto las películas no dopadas como las dopadas con Al muestran una fuerte orientación preferente en el eje c. El coeficiente de textura (TC) de la película a lo largo de la dirección (002) aumenta debido a la incorporación de Al. La micrografía SEM muestra partículas de forma redonda para el ZnO puro. Sin embargo, las películas de AZO muestran partículas con forma poco esférica y granos compactos interconectados. La sensibilidad de la película en presencia del 80% de LEL (límite inferior de explosividad) del GLP aumenta con la temperatura y es máxima a 325°C. Se observó una sensibilidad significativamente alta del 87% con una respuesta razonablemente rápida para el ZnO dopado con 1 l (AZO) en presencia de 1,6 vol% de GLP a 325°C.

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