Resumen

Se depositaron recubrimientos de CrNx sobre sustratos de Si (100) y WC-Co mediante un sistema casero de pulverización catódica por magnetrón de media frecuencia con y sin asistencia de fuente de iones de filamento térmico. La estructura y composición de los recubrimientos se caracterizaron mediante difracción de rayos X, microscopía de fuerza atómica, microscopía electrónica de barrido y microscopía electrónica de transmisión. Las propiedades mecánicas y tribológicas se evaluaron mediante ensayos de microdureza y pin-on-disc. El sistema asistido por fuente de iones mostró una velocidad de deposición de 3,88 μm/h, muy superior al valor de 2,2 μm/h sin asistencia de fuente de iones. Los recubrimientos de CrNx preparados con ayuda de la fuente de iones mostraron un aumento de la microdureza (hasta 16,3 GPa) y una disminución del coeficiente de fricción (hasta 0,48) a la distancia optimizada entre la fuente catódica y el sustrato.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanopartículas Nanocompuestos Nanocables
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanoparticles Nanocomposites Nanowires
• Palabras claves:asistencia de fuente de iones, revestimientos crnx, asistencia de fuente de iones de filamento térmico, microscopía de fuerza atómica, microscopía electrónica de transmisión, microdureza, sistema, sustratos co, fuente catódica, tasa de deposición
• Keywords:ion source assistance, crnx coatings, thermal filament ion source assistance, atomic force microscopy, transmission electron microscopy, microhardness, system, co substrates, cathode source, deposition rate