Resumen

El presente artículo trata de las propiedades mecánicas y la estructura de las películas finas multiferroicas nanocristalinas de BeFiO3 (BFO), obtenidas por deposición atómica en capa (ALD) sobre el sustrato Si/SiO2/Pt. El uso de nanoindentación con punta afilada y de múltiples técnicas de examen estructural, a saber, difracción de rayos X de incidencia rasante, espectroscopia de fotoelectrones de rayos X, microscopia electrónica de barrido y espectrometría de rayos X de energía dispersiva, nos permitió detectar cambios en las propiedades elásticas (95 GPa≤E≤118 GPa) y la dureza (4,50 GPa≤H≤7,96 GPa) del BFO tras etapas de recocido y observar su relación con la evolución estructural del material. Nuestros experimentos apuntan hacia un aumento de la homogeneidad estructural de las muestras recocidas durante más tiempo. Hasta donde sabemos, el presente informe constituye la primera divulgación de las características mecánicas por nanoindentación del BeFiO3 fabricado por ALD, proporcionando una nueva visión de los fenómenos que acompañan la formación de estructuras y el desarrollo de multiferroicos nanocristalinos. Creemos que nuestra caracterización sistemática de las capas de BFO llevada a cabo en etapas consecutivas de su deposición proporciona información pertinente que es necesaria para controlar y optimizar su fabricación por ALD.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Nanopartículas Nanofibras
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Nanoparticles Nanofibers
• Palabras claves:deposición atómica de capas, befio3 multiferroico nanocristalino, espectroscopia fotoelectrónica de rayos, ald, bfo, gpa, nanoindentación, fabricación ald, capas bfo, sustrato pt
• Keywords:atomic layer deposition, nanocrystalline multiferroic befio3, ray photoelectron spectroscopy, ald, bfo, gpa, nanoindentation, ald fabrication, bfo layers, pt substrate