Resumen

Hemos demostrado la capacidad de las películas delgadas de SiC nanocristalino con varios tipos de conductividad para detectar gases oxidantes (O2), reductores (CO, CH4) con las concentraciones máximas permitidas para la seguridad humana. Se demostró que las películas de n-nc-SiC con conductividad electrónica tenían una mayor sensibilidad a los gases Sn que las películas de p-nc-SiC con conductividad de agujeros Sp a la acción de los gases en un amplio rango de concentraciones. Así, para las concentraciones máximas admisibles de O2 (3%), CO (0,1%), CH4 (10%) la relación de sensibilidad de las películas Sn/Sp fue de 2,9; 4,8 y 10, respectivamente. Para la investigación, utilizamos una geometría de resistencia simple optimizando la cual es posible aumentar significativamente la sensibilidad de las películas a los gases con el fin de detectar concentraciones de gas extremadamente bajas. Así, basándose en películas de nc-SiC, es posible desarrollar sensores de gas de alta temperatura para detectar gases reactivos en un amplio rango de concentraciones, incluyendo valores umbrales admisibles.

• Materias:Biotecnología Minería de datos Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Data mining Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:películas sic, gases, mayor sensibilidad al gas sn, conductividad del agujero sensibilidad sp, películas sic nanocristalinas delgadas, bajas concentraciones de gas, concentraciones máximas admisibles, concentraciones máximas permitidas, geometría de resistencia simple, sensores de gas de temperatura
• Keywords:sic films, gases, higher gas sensitivity sn, hole conductivity sensivity sp, thin nanocrystalline sic films, low gas concentrations, maximum allowable concentrations, maximum permissible concentrations, simple resistor geometry, temperature gas sensors