Resumen

Los haces de iones focalizados son una herramienta esencial para el análisis transversal de materiales a microescala, la preparación de muestras de TEM y mucho más. Las nuevas fuentes de iones de plasma permiten corrientes de haz más elevadas y opciones para utilizar especies de iones no convencionales, lo que se traduce en una mayor versatilidad en una gama más amplia de materiales de sustrato. En este artículo, presentamos los resultados de un estudio de cuatro materiales a partir de cinco especies de iones diferentes a distintas energías del haz. Se trata, por supuesto, de una pequeña muestra de la enorme variedad de posibles combinaciones de especies de iones y especímenes. Demostramos que las tasas de fresado y los artefactos de texturización son muy variados. Por lo tanto, es necesario explorar sistemáticamente cómo las diferentes especies de iones fresan los diferentes materiales. Hay tanto por hacer que debería ser un esfuerzo comunitario. Aquí presentamos un script de automatización disponible públicamente que se utiliza tanto para medir las tasas de sputter como para caracterizar los artefactos de texturización, así como una base de datos colaborativa a la que cualquiera puede contribuir. También presentamos algunas ideas para nuevas aplicaciones de los haces de iones enfocados con nuevas especies de iones.

• Materias:Análisis de suelos Hormigón Construcciones de hormigón Asfalto
• Subjects:Soil testing Concrete Concrete construction Asphalt
• Palabras claves:diferentes especies de iones, haz de iones enfocado, análisis de material seccional, medidas de la tasa de sputter, nuevo plasma de iones, guión de automatización disponible, gama de sustrato, mayor corriente de haz, especies de iones no convencionales, fuente de iones de plasma
• Keywords:different ion species, focused ion beam, sectional material analysis, measures sputter rate, new plasma ion, available automation script, range of substrate, higher beam current, unconventional ion species, plasma ion source