Resumen

Este trabajo muestra que los eventos de intercambio de carga y las reacciones de disociación de los iones pueden afectar a la pureza del haz de iones en la implantación de iones, lo que conduce a la contaminación del blanco implantado. Se derivan relaciones físicas que explican por qué los iones no deseados son transportados en el haz de iones a pesar de una separación de masas magnética. Basándose en estas relaciones, se ha desarrollado la herramienta de simulación ENCOTION (ENergetic COntamination simulaTION). ENCOTION es una herramienta muy potente para la simulación de mecanismos de transporte de iones a través de un analizador magnético y para la simulación de espectros de masas, como se demostrará en este artículo.

• Materias:Sistema cuántico Masa (Física) fotoelectrones Iones Reacciones Nucleares
• Subjects:Quantum system Mass (Physical) photoelectrons Ions Nuclear Reactions
• Palabras claves:haz de iones, simulación de masa, reacción de iones, separación magnética de masas, simulación de transporte, simulación de contaminación energética, mecanismo de iones, herramientas de simulación encotion, analizador de imanes, herramientas potentes
• Keywords:ion beam, simulation of mass, reaction of ion, magnetic mass separation, simulation of transport, energetic contamination simulation, mechanism of ion, simulation tools encotion, magnet analyzer, powerful tools