Resumen

Las películas magnetostrictivas gigantes (GMF) de Fe100-xGax atraen cada vez más atención por su posible aplicación en la fabricación de sensores magnetostrictivos de desplazamiento integrados. Sin embargo, es difícil fabricar a voluntad películas delgadas de Fe100-xGax con diferentes composiciones. Se investigó la influencia de las composiciones en las fases de aleación, los tamaños de grano, la rugosidad de la superficie de la película y los dominios magnéticos de las películas y la magnetización de las películas de Fe100-xGax pulverizadas por magnetrón. Cambiando la relación entre las áreas de corte de hierro puro y las áreas de blanco de aleación, se consiguió la composición deseada de la película mediante el método Mosaico mejorado. Las morfologías, la estructura de los dominios magnéticos, la microestructura y las composiciones de las películas de Fe100-xGax se revelaron mediante SEM, EDS, XRD, MFM, VSM y TEM. Los resultados muestran que hay una textura <1 1 0 > en las películas de Fe100-xGax pulverizadas por magnetrón. El pico agudo atribuido a la microestructura A2 sugiere que la película es cristalina. La estructura de los dominios magnéticos de las películas de Fe100-xGax presenta una forma de red, y la anchura de los dominios disminuye con la disminución del contenido de galio. También se observa que los dominios magnéticos de las películas no son uniformes. El resultado de la TEM muestra que hay algunos patrones de bandas en las películas, y el anillo de difracción es discontinuo debido a la extinción de la estructura. Para aplicaciones en microdispositivos MEMS, la composición óptima de la película debería ser Fe83.25Ga16.75.

• Materias:Biotecnología Minería de datos Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Data mining Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:fe100, películas xgax, estructura de dominios magnéticos, películas, dominios magnéticos, áreas de corte de hierro puro, rugosidad de la superficie de la película, películas magnetostrictivas gigantes, sensores magnetostrictivos de desplazamiento, película de composición óptima
• Keywords:fe100, xgax films, magnetic domain structure, films, magnetic domains, pure iron slice areas, film surface roughness, giant magnetostrictive films, magnetostrictive displacement sensors, optimum composition film