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Natural Frequencies and Mode Shapes of Mechanically Coupled Microbeam Resonators with an Application to Micromechanical FiltersFrecuencias naturales y formas modales de resonadores de microvigas mecánicamente acopladas con una aplicación a filtros micromecánicos.

Resumen

Presentamos una metodología para calcular de manera analítica las formas modales y las frecuencias correspondientes de resonadores de microvigas mecánicamente acopladas. Para demostrar la metodología, analizamos un filtro mecánico compuesto por dos vigas acopladas por una viga débil. El problema de valor en la frontera (BVP, por sus siglas en inglés) para el problema de vibración lineal de las vigas acopladas depende del número de vigas y de las condiciones de contorno de los puntos de unión. Esto implica que el sistema de ecuaciones algebraicas lineales homogéneas se vuelve más grande a medida que el conjunto de resonadores se vuelve más complicado. Sugerimos un método para reducir el gran sistema de ecuaciones en un sistema más pequeño. Reducimos el BVP compuesto por cinco ecuaciones y veinte condiciones de contorno a un conjunto de tres ecuaciones algebraicas lineales homogéneas para tres constantes y las frecuencias. Esta metodología se puede extender fácilmente para acomodar cualquier configuración de conjuntos mecánicamente acoplados.

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