Resumen

En la actualidad, los resonadores MEMS se investigan ampliamente como alternativa deseable a los resonadores de cuarzo en aplicaciones de reloj en tiempo real, debido a sus propiedades de bajo coste y capacidad de integración. Sin embargo, las prestaciones de los resonadores MEMS aún no son competitivas, especialmente en términos de estabilidad de frecuencia y resistencia equivalente del dispositivo (y, por tanto, de consumo de energía). Proponemos una nueva estructura para un resonador MEMS, con un mecanismo de transducción de tipo vertical, que presenta características prometedoras. El resonador vertical puede fabricarse con la tecnología THELMA, de bajo coste y alto rendimiento, y está diseñado para poder sintonizarse eficientemente en frecuencia. Con respecto a los resonadores laterales comúnmente investigados, se espera que tenga resistencias equivalentes más bajas y características de repetibilidad a gran escala mejoradas.

• Materias:Sensores Sensores táctiles Sensor termoeléctrico Sensores de fibra óptica Sensores piezoeléctricos
• Subjects:sensors Tactile sensors Thermoelectric sensor Fiber optic sensors Piezoelectric sensors
• Palabras claves:tecnología thelma de alto rendimiento, prestaciones de los resonadores mems, propiedades de capacidad de integración, como mecanismo de transducción, resistencias equivalentes más bajas, características de repetibilidad de escala, aplicaciones de reloj horario, coste, resonador mems, resonadores mems
• Keywords:high performance thelma technology, mems resonators performances, integration capability properties, like transduction mechanism, lower equivalent resistances, scale repeatability characteristics, time clock applications, cost, mems resonator, mems resonators