Resumen

La presente revisión proporciona información relevante sobre los problemas y retos que plantean las técnicas de ensayo de MEMS que se aplican para analizar el comportamiento de los sistemas microelectromecánicos (MEMS) en condiciones específicas de aplicación y funcionamiento. Los dispositivos MEMS son más complejos y extremadamente diversos debido a la inmersión de multidominios. Sus modos de fallo son distintos en diferentes circunstancias. Por lo tanto, las pruebas de estos sistemas tanto a nivel de dispositivo como de producción en serie, es decir, las pruebas paralelas, se están convirtiendo en todo un reto en comparación con las pruebas de circuitos integrados, ya que los MEMS responden a estímulos eléctricos, físicos, químicos y ópticos. En la actualidad, los sistemas de prueba desarrollados para dispositivos MEMS tienen que personalizarse debido a su comportamiento no determinista y a su complejidad. La medición precisa de los sistemas de prueba para MEMS es difícil de cuantificar en la fase de producción. La complejidad del dispositivo a ensayar exige una madurez en la técnica de ensayo que aumenta el coste de desarrollo de los ensayos; esta práctica se impone directamente sobre el coste del dispositivo. Este factor provoca un retraso en el plazo de comercialización.

• Materias:Biotecnología Nanotecnología Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Nanotechnology Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:dispositivos mems, sistemas de prueba, técnicas de prueba de mems, nivel de producción en serie, complejidad, sistemas, prueba de ic, medición precisa, coste del dispositivo, nivel del dispositivo
• Keywords:mems devices, test systems, mems testing techniques, mass production level, complexity, systems, ic test, accurate measurement, device cost, device level