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Selection of MEMS Accelerometers for Tilt MeasurementsSelección de acelerómetros MEMS para mediciones de inclinación

Resumen

Para construir un sensor de inclinación que tenga la sensibilidad y el rango de medición deseados, hay que seleccionar el tipo, la orientación y la posición inicial adecuados de un acelerómetro. Se consideran varios casos de mediciones de la inclinación: determinar exclusivamente el cabeceo, la inclinación axial o tanto el cabeceo como el balanceo, en los que los componentes cartesianos de la aceleración de la gravedad se miden mediante acelerómetros micromecanizados uni, bi, tri o multiaxiales de baja gravedad. Se distinguen 15 orientaciones diferentes de dichos acelerómetros (cada una ilustrada con sus respectivos gráficos) y se relacionan con las fórmulas matemáticas pertinentes. Los resultados del estudio experimental realizado revelaron desalineaciones inherentes de los ejes sensibles de los acelerómetros micromecanizados de hasta 1°. Algunas de las orientaciones propuestas permiten evitar la necesidad de utilizar los pares más desalineados de los ejes sensibles; algunas aumentan la precisión de las mediciones de inclinación mediante la activación de todos los ejes sensibles o la reducción de los efectos de las propiedades anisotrópicas de los acelerómetros triaxiales micromecanizados; otras orientaciones permiten reducir el número necesario de ejes sensibles en todo el rango de medición. Se analiza el aumento de la precisión al utilizar acelerómetros multiaxiales. Se proporcionan directrices prácticas para una selección óptima de un acelerómetro micromecanizado concreto para un caso específico de medición de la inclinación.

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