Resumen

Se informa sobre la tecnología de fabricación y optimización de un sensor de gases basado en grafeno epitaxial. La configuración optimizada del contacto grafeno/metal mostró una baja resistencia de contacto. El recocido complementario del sensor de grafeno después de cada exposición al gas condujo a una mejora significativa en el rendimiento de detección. La respuesta del sensor recocido al dióxido de nitrógeno (NO2) fue diez veces superior a la del sensor de grafeno tal como se fabricó. Se detectó fácilmente una concentración de NO2 tan baja como 0,2 partes por billón (ppb). Los dispositivos presentan una elevada relación señal/ruido. El límite de detección del sensor de grafeno se estimó en 0,6 ppt (partes por billón). La presente tecnología con recocido adicional mejora el rendimiento del sensor basado en grafeno y lo hace adecuado para la monitorización ambiental del gas dióxido de nitrógeno.

• Materias:Redes de sensores Sensores inalámbricos Sistema de sensores Sensor inteligente Sensores electroquímicos
• Subjects:Sensor networks Wireless sensors Sensor system Intelligent sensor Electrochemical sensors
• Palabras claves:sensor de grafeno, monitorización ambiental de gas dióxido de nitrógeno, baja resistencia de contacto, configuración de contacto metálico, grafeno, piezas, rendimiento, sensor, recocido complementario, concentración de no2
• Keywords:graphene sensor, environmental nitrogen dioxide gas monitoring, low contact resistance, metal contact configuration, graphene, parts, performance, sensor, complementary annealing, no2 concentration