Resumen

Este artículo presenta un novedoso sensor de inclinación híbrido CMOS/MEMS con una resolución de 5∘ en un rango de 300∘. El dispositivo utiliza una masa semicircular basada en MEMS suspendida de un cuerpo rígido, que proyecta una sombra sobre la superficie del sensor óptico basado en CMOS. Una matriz unidimensional de fotodiodos dispuesta en forma de anillo uniformemente segmentado se utiliza entonces para determinar el ángulo de inclinación detectando la posición de la masa semicircular. El sensor completo ocupa una superficie inferior a 2,5 mm × 2,5 mm.

• Materias:Redes de sensores Nanosensores Sensores electroquímicos Biosensores
• Subjects:Sensor networks Nanosensors Electrochemical sensors Biosensors
• Palabras claves:masa semicircular, sensor de inclinación mems, matriz de fotodiodos dimensional, novedoso cmos híbrido, superficie del sensor óptico, alcance 300∘, sensor completo, cuerpo rígido, ángulo de inclinación, cmos
• Keywords:semicircular mass, mems tilt sensor, dimensional photodiode array, novel hybrid cmos, optical sensor surface, 300∘ range, complete sensor, rigid body, tilt angle, cmos