Resumen

En este documento se presenta sensor de presión inalámbrico RF. El diseño de dicho sensor tiene un capacitor paralelo y un inductor cuadrado de espiral de película delgada como circuito resonante. El capacitor detecta el cambio de presión. Por su parte, el inductor se fabricó con el capacitor en oblea usando una técnica MEMS. El capacitor tiene que ser bastante sensible ya que los sensores se usan para medir la presión en cmH₂O.

• Materias:Tecnología de la instrumentación Instrumentos de medición
• Subjects:Instrumentation technology Measuring instruments
• Palabras claves:Instrumentación industrial, Sensores, Sensores de presión, Sensor de presión inalámbrico RF, Capacitor, Inductor cuadrado de espiral de película delgada, Membrana, Medición de flujo
• Keywords:Industrial instrumentation, Sensors, Pressure sensors, RF wireless pressure sensor, Thin film spiral square inductor, Membrane, Flow measurement