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Artículo

Ru-Based Thin Film Temperature Sensor for Space Environments: Microfabrication and Characterization under Total Ionizing DoseSensor de temperatura de película fina basado en Ru para entornos espaciales: Microfabricación y caracterización bajo dosis ionizante total

Resumen

El artículo muestra los procesos de microfabricación de un detector de temperatura por resistencia basado en rutenio y su comportamiento en respuesta a la irradiación a temperatura ambiente. El ensayo de irradiación se realizó en las instalaciones de un hospital público y siguió los procedimientos basados en la especificación ESCC 22900 de la ESA. El sistema de instrumentación utilizado para el ensayo se detalla en el trabajo describiendo la evolución de la resistencia de los sensores antes, durante y después de la exposición. Se aplicó una dosis de irradiación total de 43 krad con una tasa de dosis de 36 krad/h y se realizó una caracterización posterior una vez que los sensores Ru fueron sometidos a un proceso de recocido a 80°C durante un periodo de 168 h. Las medidas experimentales han demostrado la estabilidad de este sensor frente a ensayos de dosis ionizante total (TID), no sólo en sus valores absolutos de resistencia durante la fase de irradiación sino también en la desviación relativa respecto a sus valores antes de la irradiación.

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