Resumen

La eficacia de la integración de sensores de temperatura en tecnologías de detección de presión conformes, como las matrices de detección háptica, se ve limitada por las pérdidas térmicas en el sustrato. Aquí se propone una solución que consiste en incorporar un disipador de calor activo en el sensor para mitigar estas pérdidas, permitiendo al mismo tiempo el uso de los métodos y materiales de fabricación VLSI habituales en la fabricación de sensores. Este disipador activo es capaz de responder a fluctuaciones desconocidas de la temperatura externa, es decir, la temperatura que se desea medir, y compensa directamente en tiempo real la pérdida de potencia térmica en el sustrato suministrando una cantidad equivalente de potencia de vuelta al sensor térmico. En este artículo se describen los efectos termoeléctricos del sistema disipador de calor activo/sensor térmico y se utilizan para reducir la complejidad del sistema a un sencillo modelo numérico unidimensional. Este modelo se incorpora a un sistema de realimentación utilizado para controlar el disipador de calor activo y supervisar la salida del sensor. También se describe una estrategia de fabricación para mostrar cómo esta tecnología puede incorporarse a un conjunto de sensores de presión capacitivos basados en silicio sobre aislante (BSOI), como los que se utilizan en algunos sistemas de detección háptica.

• Materias:Biotecnología Minería de datos Redes de sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology Data mining Sensor networks Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:disipador térmico activo, conjunto de sensores de presión capacitivos, métodos comunes de fabricación vlsi, modelo numérico dimensional, pérdida de potencia térmica, sistema de sensores térmicos, sustrato, disipador activo, presión conforme, cantidad equivalente
• Keywords:active heat sink, capacitive pressure sensor array, common vlsi manufacturing methods, dimensional numerical model, thermal power loss, thermal sensor system, substrate, active sink, compliant pressure, equivalent amount