Resumen

Se presenta el diseño y la fabricación de microrreactores y sensores basados en nanotubos de carbono decorados con nanopartículas metálicas. Se pulverizaron capas de adherencia de titanio y películas de oro sobre sustratos de Si/SiO2 para obtener los contactos eléctricos. Las capas de oro se engrosaron electroquímicamente hasta 1 μ m y los electrodos se modelaron mediante fotolitografía y grabado químico húmedo. Antes de la deposición dielectroforética de los nanotubos, se fresó un hueco de 1 μ m de ancho y 5 μ m de profundidad en el centro de la línea metálica mediante haz de iones focalizado, lo que permitió la fabricación de sensores basados en nanotubos suspendidos que hacían de puente entre los electrodos. Posteriormente, se utilizó la técnica de sputtering para decorar los nanotubos con nanopartículas metálicas. Con el fin de probar los sensores as-obtained, microreactores (100 μ L de volumen) fueron mecanizadas a partir de una sola pieza de Kovar, siendo equipado con conexiones eléctricas y 1/4′′ Swagelok-compatible con la entrada de gas y salidas para el control de la atmósfera en la cámara de pruebas. Los sensores, conectados eléctricamente a las clavijas de contacto mediante unión por alambre, se probaron en el intervalo de potencia de trabajo de 10-5 a 10-2 W utilizando oxígeno como gas objetivo. El pequeño volumen de la cámara permitió medir tiempos característicos rápidos (respuesta/recuperación), y los sensores mostraron una buena sensibilidad.

• Materias:Redes de sensores Sensores inalámbricos Sistema de sensores Sensor inteligente Sensores electroquímicos
• Subjects:Sensor networks Wireless sensors Sensor system Intelligent sensor Electrochemical sensors
• Palabras claves:sensores, nanotubos, capas de adherencia de titanio, entrada de gas compatible, tiempos característicos rápidos, haz de iones focalizado, pieza única de kovar, pequeño volumen de cámara, grabado químico húmedo, electrodos
• Keywords:sensors, nanotubes, titanium adhesion layers, compatible gas inlet, fast characteristic times, focused ion beam, single kovar piece, small chamber volume, wet chemical etching, electrodes