Resumen

Se estudió la selectividad de un sensor SAW (ondas acústicas superficiales), con una película delgada sensible de Co3O4 para NH3 (amoníaco) y la influencia del SnO2 en su sensibilidad. Las películas delgadas se depositaron mediante deposición láser pulsada (PLD) sobre sustratos de sensores SAW de cuarzo. Se desarrollaron dos sensores con diferentes tipos de películas sensibles: un sensor de película fina de Co3O4 (S1) y un sensor de película fina de SnO2/Co3O4 (S2). Las películas sensibles se depositaron en condiciones que garantizaban una estructura porosa. Los sensores se probaron en presencia de tres gases: NH3, metanol y tolueno. La selectividad del Co3O4 para el NH3 se determinó a partir de la diferencia en los desplazamientos de frecuencia del sensor para el NH3 y para los COV (compuestos orgánicos volátiles). La influencia positiva del SnO2 en la sensibilidad del sensor S2 se observó a partir del límite inferior de detección (LOD) de este sensor y de las diferencias en los desplazamientos de frecuencia entre el sensor S1 y el sensor S2.

• Materias:Biotecnología Sensores Sistema de sensores Tecnología de sensores
• Subjects:Biotechnology sensors Sensor system Sensor technology
• Palabras claves:sensor de película fina, co3o4, nh3, sno2, sensor, desplazamientos de frecuencia, películas sensibles, sensor s2, sustratos de sensores de sierra de cuarzo, deposición por láser pulsado
• Keywords:thin film sensor, co3o4, nh3, sno2, sensor, frequency shifts, sensitive films, sensor s2, quartz saw sensor substrates, pulsed laser deposition