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Artículo

Simulation of Proton Beam Effects in Thin Insulating FilmsSimulación de los efectos de los haces de protones en películas aislantes delgadas

Resumen

Se han investigado los efectos de la exposición de varios aislantes, utilizados habitualmente para diversos fines en circuitos integrados, a haces de protones. Entre los materiales considerados figuran el dióxido de silicio, el nitruro de silicio, el nitruro de aluminio, la alúmina y el policarbonato (Lexan). El paso de haces de protones a través de capas ultrafinas de estos materiales se ha modelado mediante simulaciones Monte Carlo de transporte de partículas. Los parámetros que se han variado en las simulaciones incluyen la energía del protón y el grosor de la capa aislante. Los materiales se comparan en función de los efectos ionizantes y no ionizantes producidos por el paso de protones.

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