Resumen

La frecuencia de resonancia, fs, y el factor de acoplamiento electromecánico efectivo, keff2, de los resonadores acústicos de película delgada (FBAR) se obtienen por el método de la matriz de transferencia. Los efectos del grosor y la densidad del electrodo en fs y keff2 con diferentes capas piezoeléctricas se investigan mediante el método de cálculo numérico. Los resultados muestran que el grosor y la densidad del electrodo afectan a fs de forma evidente, especialmente en áreas de gran grosor y densidad. Además, también se estudiaron los efectos del grosor, la densidad y la velocidad acústica del electrodo sobre keff2 de FBAR. Los resultados muestran que hay un keff2 máximo correspondiente a la composición del grosor y la densidad del electrodo que es aproximadamente un 20% superior al factor electromecánico original de la película piezoeléctrica. keff2 está en proporción directa con la densidad ρe y ve del electrodo, respectivamente. El grosor del electrodo afecta poco a keff2 con ve alto; además, cuando ve es suficientemente alto, entonces keff2 no tiene casi nada que ver con de. keff2 siempre sube con el grosor del electrodo primero y luego baja con su subida, y el grosor correspondiente al máximo de keff2 es diferente con electrodo diferente, pero siempre se localiza en la zona especial. Todos los resultados anteriores indican que el grosor, la densidad y la velocidad acústica del electrodo son tan importantes que estos resultados pueden aplicarse al diseño de FBAR.

• Materias:Biotecnología Análisis electroquímico Nanotecnología Bioingeniería Nanoestructuras Nanocompuestos
• Subjects:Biotechnology Electrochemical analysis Nanotechnology Bioengineering Nanostructures Nanocomposites
• Palabras claves:keff2, electrodo, espesor, densidad, resultados, velocidad acústica, espesor del electrodo, keff2 máxima, factor de acoplamiento electromecánico efectivo, resonadores acústicos de masa
• Keywords:keff2, electrode, thickness, density, results, acoustic velocity, electrode thickness, maximum keff2, effective electromechanical coupling factor, bulk acoustic resonators