Resumen

Demostramos el uso de un sistema de detección astigmática (ADS) para la identificación de frecuencias de resonancia de sensores microcantilever de polímero. La tecnología ADS se basa en un cabezal óptico de DVD combinado con un microscopio óptico (OM). El cabezal óptico tiene un ancho de banda de señal de 80 MHz, lo que permite realizar mediciones de fluctuaciones térmicas en haces de voladizos con una resolución subnanométrica. Además, una excitación externa puede intensificar la amplitud de resonancia, mejorando la relación señal-ruido. La anchura total a medio máximo (FWHM) del punto láser es de 568 nm, lo que facilita la lectura en voladizos de tamaño potencialmente submicrométrico. La frecuencia de resonancia de los microcantilevers SU-8 se mide mediante los modos de medición de fluctuación térmica y vibración excitada del ADS.

• Materias:Sensores inalámbricos Sensor termoeléctrico Biosensores Sensores de fibra óptica
• Subjects:Wireless sensors Thermoelectric sensor Biosensors Fiber optic sensors
• Palabras claves:cabezal óptico, modos de medición de vibraciones excitadas, sistema de detección astigmática, identificación de frecuencias de resonancia, mediciones de fluctuaciones térmicas, ads, tecnología ads, vigas en voladizo, excitación externa, ancho total
• Keywords:optical head, excited vibration measurement modes, astigmatic detection system, resonance frequency identification, thermal fluctuation measurements, ads, ads technology, cantilever beams, external excitation, full width