Resumen

Con el rápido y continuo desarrollo de la tecnología de nanofabricación, las demandas de metrología de gran alcance y alta precisión de superficies estructuradas son cada vez más urgentes. En este artículo, los autores proponen un sistema de medición metrológica basado en un microscopio de fuerza atómica comercial. Además, se presenta la integración del sistema metrológico, el procesamiento de señales y la calibración de todo el sistema. Los resultados de tres estudios experimentales sobre un escalón alto, una rejilla de deposición atómica y una herramienta de corte demuestran una elevada repetibilidad y reproducibilidad de las mediciones tanto en dirección vertical como lateral.

• Materias:Metrología Desarrollo científico y tecnológico Microscopio electrónico Nanociencia
• Subjects:Metrology Scientific and technological development Electron microscopy Nanoscience
• Palabras claves:Metrología de superficies; Microscopio de fuerza atómica; Superficie estructurada; Alta precisión; Gran rango de medición
• Keywords:Surface metrology; Atomic force microscope; Structured surface; High precision; Large measurement range