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CPLD-Based Displacement Measurement System for Nanoscale Grating RulerSistema de medición de desplazamiento basado en CPLD para regla de rejilla a nanoescala

Resumen

Con el continuo desarrollo de la ciencia y la tecnología, la producción industrial exige cada vez más precisión. Muchas tecnologías de medición de alta precisión surgen a medida que los tiempos lo requieren, y la tecnología de medición de desplazamiento con regla de rejilla a nanoescala es una de ellas. Como tipo de sensor de precisión, la regla de rejilla a nanoescala tiene una importante aplicación en los sistemas de medición de desplazamiento. El CPLD tiene las ventajas de una alta integración y una rápida velocidad de programación, que se utiliza a menudo para controlar el sistema de medición de desplazamiento de la regla de rejilla a nanoescala. El objetivo de este artículo es explorar en profundidad el efecto de medición y el principio de aplicación relacionado del sistema de medición de desplazamiento de la regla de rejilla a nanoescala basado en la tecnología CPLD. Se diseña un sistema de medición del desplazamiento de la regla de rejilla a nanoescala basado en la tecnología CPLD. La señal de salida de la regla de rejilla se programa mediante CPLD. Se mide el desplazamiento del eje x de la plataforma experimental controlada por motor paso a paso, y los datos medidos se registran realizando análisis e investigación. Los resultados muestran que, en comparación con el sistema tradicional de medición de diferencia de fase, la precisión de medición del sistema basado en CPLD mejora en un 24,7%, la robustez del sistema de medición mejora en un 18,6% y la velocidad de medición aumenta en un 27,3%. Por lo tanto, este tipo de sistema de control de medición de desplazamiento de la regla de rejilla de precisión de medición a nanoescala basado en CPLD tiene tres características: alta precisión de medición, fuerte capacidad antiinterferente y alta eficiencia de movimiento de medición, que puede satisfacer eficazmente los requisitos del sistema de medición de desplazamiento de la regla de rejilla para la tecnología de fabricación de alta precisión.

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