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High-Speed Transmission and Mass Data Storage Solutions for Large-Area and Arbitrarily Structured Fabrication through Maskless LithographySoluciones de transmisión de alta velocidad y almacenamiento masivo de datos para fabricación de gran superficie y estructura arbitraria mediante litografía sin máscara

Resumen

Este artículo presenta los aspectos de implementación y diseño de la transmisión de datos a alta velocidad en litografía de escritura directa por láser. Con un único chip de matriz de puertas programable en campo (FPGA), se implementaron la gestión de almacenamiento masivo de datos, la transmisión y la sincronización de cada parte en tiempo real. Para almacenar una cantidad masiva de datos y transmitirlos con un gran ancho de banda, se desarrolló una propiedad intelectual (IP) de tecnología avanzada en serie (SATA) en Xilinx Virtex-6 FPGA. Además, se implementaron en la misma FPGA el control de la potencia del haz láser, la recopilación de datos de lectura del estado del láser litográfico mediante un convertidor analógico-digital y la sincronización de la señal de posicionamiento. Se estableció una estructura de datos para cada unidad con una dosis de exposición única y otra información necesaria. Los resultados mostraron que el ancho de banda máximo de lectura (240 MB/s) y el ancho de banda máximo de escritura (200 MB/s) de una sola unidad de estado sólido se ajustan al requisito de transmisión de datos. La cantidad total de datos cumple el requisito de un elemento difractivo de gran superficie de aproximadamente 102 cm2. El rendimiento se ha mejorado considerablemente a metros por segundo o centímetro cuadrado por segundo. Y los resultados de las pruebas demostraron que la transmisión de datos cumple el requisito del experimento.

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