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SU-8 as Hydrophobic and Dielectric Thin Film in Electrowetting-on-Dielectric Based Microfluidics DeviceSU-8 como película delgada hidrófoba y dieléctrica en un dispositivo de microfluidos basado en la electrodeposición sobre dieléctrico

Resumen

Se ha diseñado y fabricado un sistema de accionamiento de gotas basado en la electrohumectación sobre dieléctrico (EWOD) en un chip microfluídico. EWOD se utiliza como esquema de microbombeo en chip para mover fluidos digitalmente en dispositivos Lab-on-a-chip. Para habilitar este esquema, se realiza la deposición apilada de una fina capa dieléctrica e hidrófoba en ese orden entre el microcanal y los electrodos. El presente trabajo investiga el uso potencial de SU-8 como capa hidrófoba junto con la actuación como dieléctrico en el dispositivo. El objetivo de la investigación es reducir el coste y simplificar el proceso de fabricación de dispositivos basados en EWOD. Hemos realizado el diseño y la optimización de las dimensiones de la matriz de electrodos incluyendo la separación entre matrices para la microbomba EWOD. El diseño y la optimización se llevan a cabo en CoventorWare. El diseño es seguido por la fabricación del dispositivo y el análisis del movimiento de las gotas. La fabricación del dispositivo incluye una matriz de electrodos sobre la superficie de silicio y su incrustación en una capa hidrófoba SU-8. Se demuestra el movimiento de gotas de agua del orden de microlitros de forma esférica. Se ha demostrado que un microcanal de SU-8 en el diseño actual permite el flujo microfluídico a decenas de voltajes comparables con diseños más costosos y complicados de fabricar que aparecen en la bibliografía.

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