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Technique of Coaxial Frame in Reflection for the Characterization of Single and Multilayer Materials with Correction of Air GapTécnica del Marco Coaxial en Reflexión para la Caracterización de Materiales Monocapa y Multicapa con Corrección del Entrehierro

Resumen

Las técnicas basadas en sondas fijas en reflexión se utilizan en la reflectometría de microondas como una novedosa herramienta de diagnóstico para la detección de cánceres de piel, para las medidas de permitividad compleja en muestras líquidas y pizarras petrolíferas, y para las medidas de permitividad dieléctrica compleja de órganos y tejidos de animales en la banda de microondas para las necesidades de la medicina veterinaria moderna. En este trabajo, hemos desarrollado una técnica para caracterizar materiales multicapa en un rango de frecuencia de banda ancha. Se ha desarrollado una sonda coaxial en reflexión especialmente para el sustrato microelectrónico. Utilizando un conector SMA, se ha medido la tangente de pérdida de 10-4 y la permitividad relativa con un error de 0,145%. La extensión de la técnica de la sonda coaxial en reflexión a los sustratos multicapa, como el Delrin y el Teflón, permitió medir el material bicapa siempre que se conocieran bien los parámetros eléctricos y las dimensiones de una capa. En el método de la línea de transmisión coaxial, un factor que influye en gran medida en la precisión de los resultados son los espacios de aire entre el material sometido a prueba y el dispositivo de prueba coaxial. En este trabajo, hemos analizado la influencia de los entrehierros (utilizando muestras de 0,5 mm de entrehierro) y las medidas que pueden tomarse para minimizar esa influencia cuando se mide el material. Los valores intrínsecos así determinados se han verificado experimentalmente. Hemos descrito la estructura del dispositivo de prueba, sus problemas de calibración y los resultados experimentales. Por último, las simulaciones de electromagnetismo han demostrado que se pueden obtener los mejores resultados.

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