Resumen

Este trabajo simula el comportamiento electromecánico no lineal de diferentes microactuadores electrostáticos. Aplica el método de cuadratura diferencial, el principio de Hamilton y el método de integración de Wilson para derivar las ecuaciones de movimiento de los microactuadores electrostáticos y encontrar una solución a estas ecuaciones. Las dificultades de las ecuaciones no lineales se superan mediante el uso del método de cuadratura diferencial. Se determinan las tensiones de los actuadores electrostáticos, y se simulan los efectos de las tensiones residuales de los microactuadores electrostáticos.

• Materias:Corriente continua Comportamiento electromecánico Circuito de microondas Rendimiento dinámico Transformadores
• Subjects:Direct current Electromechanical behavior Microwave circuit Dynamic performance Transformers
• Palabras claves:Simula; Comportamiento electromecánico no lineal; Microactuadores electrostáticos; Método de cuadratura diferencial; Principio de Hamilton; Método de integración de Wilson
• Keywords:Simulates; Nonlinear electromechanical behavior; Electrostatic microactuators; Differential quadrature method; Hamilton"s principle; Wilson-integration method