Las propiedades moleculares y la morfología superficial de las películas de diamante ultrananocristalino (UNCD) sin dopar y dopadas con N depositadas mediante CVD por plasma de microondas con adición de nitrógeno se investigan con diversas técnicas espectroscópicas. Los resultados de la dispersión Raman espacialmente resuelta, los espectros ATR/FT-IR y XPS muestran características más amorfas y de relación sp2/sp3 en las películas de UNCD dopadas con N. La morfología de la superficie en los escaneados AFM muestra clusters de diamante nanocristalino más grandes en las películas de UNCD dopadas con N. La incorporación de nitrógeno en las películas de UNCD ha promovido un aumento de los carbonos amorfos de enlace sp2 en los límites de los granos y el tamaño de los granos de diamante nanocristalino que están bien correlacionados con la mejora de la conductividad y los cambios estructurales de las películas de UNCD de los que se ha informado.
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