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A One-Dimensional Magnetic Chip with a Hybrid Magnetosensor and a Readout CircuitUn chip magnético unidimensional con un magnetosensor híbrido y un circuito de lectura

Resumen

Este trabajo presenta un chip magnético unidimensional compuesto por un magnetosensor híbrido y un circuito de lectura, fabricados con tecnología CMOS 1P6M de 0,18 μm. El magnetosensor propuesto incluye una placa Hall en forma de cruz de polisilicio y dos transistores semiconductores de efecto de campo de óxido metálico (MOSFET) separados para detectar la inducción magnética perpendicular a la superficie del chip. El circuito de lectura, que comprende un convertidor de corriente a tensión, un filtro de paso bajo y un amplificador de instrumentación, está diseñado para amplificar la tensión Hall de salida con una ganancia de 43 dB. Además, se propone un macromodelo SPICE para predecir de antemano el funcionamiento del sensor y garantizar una comprensión suficiente del mecanismo magnético del magnetosensor propuesto. Tanto los resultados simulados como los medidos verifican la corrección y flexibilidad del macromodelo SPICE propuesto. Las mediciones revelan que la tensión Hall de salida máxima VH, la magnetosensibilidad óptima relacionada con la corriente SRI, la magnetosensibilidad óptima relacionada con la tensión SRV, el error de no linealidad promediado NLE y la corriente de polarización relativa Ibias son 4,381 mV, 520,5 V/A-T, 40,04 V/V-T, 7,19% y 200 μA, respectivamente, para el chip magnético 1-D propuesto con un circuito de lectura de 43 dB. La NLE promediada es pequeña en inducciones magnéticas altas de ±30 mT, mientras que es grande en inducciones magnéticas bajas de ±30 G.

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